1.波長范圍：
原子吸收分光光度計的波長范圍，指的是原子吸收分光光度計能滿足使用要求的使用波長范圍；一般原子吸收分光光度計的波長范圍為190-900nm ；個別采用中階梯光柵的原子吸收分光光度計，其波長范圍為190～875 nm。但是有些國產原子吸收分光光度計，使用的是一般平面光柵，其波長上限只給到860mm或875nm；這種原子吸收分光光度計的適用性將受到很大影響。因為，使用時，如果測Cs其特征吸收波長為852.1nm，如果儀器波長上限只有860 nm 或875nm ，將會出現邊緣能量不足，此時會降低儀器的信噪比，使靈敏度大大下降。如果原子吸收分光光度計的波長下限只能到達195 nm，也是不實用的；因為As是一種經常要使用原子吸收分光光度計分析的元素，同時，又是用來檢查測試原子吸收儀器的邊緣能量的重要元素。它的特征吸收波長為193.7nm，所以，原子吸收分光光度計的波長下限必須達到190 nm才行，否則將影響其適用性。
2.波長準確度：
所謂波長準確度，是指波長的實際測定值與理論值（真值）的差。
原子吸收分光光度計的波長準確度也是很重要的技術指標。特別是在對不同儀器的測試結果進行比較時，波長準確度更顯得重要。例如：我們要比對兩臺原子吸收分光光度計對同一樣品的分析測試結果，如果儀器的波長準確度不好，就無法進行比較。
或比較不出正確的結果。因為，對同一物質，在不同波長測試時，就會有不同的靈敏度，因而，即使是同一樣品，測試的數據就會不相同。這對國家的計量法執法部門（計量局所屬的測試所、已通過計量認證的分析測試中心等單位）非常重要。
3.波長重復性：
波長重復性的定義和重要性波長重復性是指多次波長測試數據的離散性或者說是指多次波長測試數據的符合程度；波長重復性又稱波長精密度。
波長重復性同樣是非常重要的性能技術指標。和波長準確度一樣，因為對同一物質，在不同波長測試時，就會有不同的靈敏度，因而，即使是同一樣品、同一個人，測試的數據也會不相同。
如果一臺原子吸收分光光度計的波長重復性不好，就等于每次分析測試時所用的波長是不同的，不可能得到可靠得分析結果。因此，一臺原子吸收分光光度計的波長重復性不好是不能滿足使用要求的。
4.穩定性：
穩定性的定義和重要性：原子吸收分光光度計的穩定性應該包括基線漂移和重復性兩個方面。儀器的基線漂移是指隨時間變化的、無規律的輸出。儀器的重復性是指分析測試數據的離散性。基線漂移和重復性兩者之和才是穩定性。
我們制造原子吸收分光光度計或使用原子吸收分光光度計時，都有一個很重要的原則或宗旨，這就是儀器要穩定可靠。如果一臺儀器的穩定性差，就談不上可靠。就不可能得到好的分析測試結果。所以，穩定性是原子吸收分光光度計的非常重要的性能技術指標。它是評價和挑選原子吸收分光光度計的關鍵性能指標之一。我們的設計者和使用者都必須高度重視穩定性。
5.邊緣能量：
原子吸收分光光度計的邊緣能量，是指儀器整個波段范圍兩端波長上能量的大小。即：兩端波長上的能量能達到該波長上信噪比大于或等于2以上（如：等于3）的要求；邊緣能量非常重要，它直接影響儀器的性噪比，檢測限、特征濃度、特征量和儀器的適用性等。
6.特征濃度：
所謂特征濃度，是指獲得1%吸收時所對應的元素濃度。或能產生吸光度為0.0044Abs的元素濃度叫特征濃度。
特征濃度非常重要，是火焰原子吸收法的一個重要性能指標。它是表特征火焰原子吸收分光光度計靈敏度的性能技術指標。我國的計量檢定規程（JJG）沒有規定檢測這個指標；而原機械工業部（JB）行業規定要檢測這個指標，要求為： 0.05g/ml/1%。
7.檢出限：
檢出限的定義和重要性：原子吸收儀器的檢測限是*原子吸收分光光度計儀器的設計者、使用者都非常關心、重視的一項zui重要的性能技術指標。它被定義為給出信號等于二倍（或3倍）噪聲電平時所對應的試樣濃度或試樣的量，以µg/ml（火焰法）或g（石墨爐法）表示。
檢測限與儀器的噪聲有關，它決定儀器的zui大檢測能力。這里所說的儀器噪聲，可以用空白溶液所測到的、以吸光度為單位的標準偏差s來決定。
8.特征量：
特征量的定義和重要性：產生1%吸收或0.0044A時所對應的試樣量叫特征量。特征量是表征石墨爐的分析靈敏度的性能技術指標，這也是使用者zui關心的技術指標之一。一般石墨爐原子吸收分光光度計的特征量在10－12g左右。
9.吸噴量：
1、 吸噴量定義：
吸噴量F是指流入火焰原子化器的試樣溶液的流量。
2、吸噴量的測試方法：
在10ml量筒中，注入去離子水至上端刻線處，將毛細管插入量筒底部，用秒表計時，1分鐘內量筒中水減少的體積則為吸噴量。吸噴量又稱試液提取量。有些原子吸收使用者認為吸噴量應該取2—15ml/min。作者的實踐表明，吸噴量一般取5—8ml/min為*。
霧化率（又稱霧化效率）霧化率的定義：霧化率ε是指進入火焰的分析物總量/噴霧溶液的吸噴量，或者說，ε就是試樣的利用率。
10.精密度（RSD）：
精密度是指的分析測試結果數據的離散性或重復性。因此，精密度又叫重復性。因為原子吸收分光光度計屬于一種相對測量，是一種比較粗糙的分析工具，其分析誤差一般都比較大（相對誤差允許±15％）；因此，精密度非常重要。
但是，目前有許多科技工作者把精密度和準確度混淆；精密度表征測試結果數據的離散性或重復性，而準確度則表征測量值與真值之差。精密度不等于準確度，這是原子吸收分光光度計使用者和一切光譜儀器使用者必須要注意的一個很重要的問題。
